Nieuwe geheugentopologieƫn mogelijk gemaakt door IGZO in de BEOL voor DRAM-toepassing KU Leuven
De laatste decennia heeft de schaalverlaging van technologie gelijke tred gehouden met de marktvraag in de halfgeleiderindustrie. We hebben echter veel problemen met het voortzetten van de schaalverlaging. Meer specifiek wordt het DRAM-domein geconfronteerd met veel problemen voor apparaatschaling. Zoals bekend bestaat de DRAM-cel uit 1-cel transistor en 1-condensator. Op basis van deze configuratie komen de kritieke uitdagingen uit twee ...