< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Stiction reduction in electrostatic poly-SiGe micromirrors by applying a self-assembled monolayer film

Boekbijdrage - Boekabstract Conferentiebijdrage

Boek: Proceedings of 21st Micromechanics and Micro Systems Europe Workshop
Pagina's: 44 - 47