< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Stiction reduction in electrostatic poly-SiGe micromirrors by applying a self-assembled monolayer film

Boekbijdrage - Boekabstract Conferentiebijdrage

Boek: Proceedings of 21st Micromechanics and Micro Systems Europe Workshop

Pagina's: 44 - 47

Jaar van publicatie:2010

Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-1057243