Dunne film transistor chemische sensoren gebaseerd op metaalorganische roosters

 Metaal-organische roosters (MOFs) zijn kristallijne materialen met zeer regelmatige poriën op nanoschaal. Doordat hun adsorptie eigenschappen aangepast kunnen worden, hebben ze veel potentieel om gassen te detecteren met zowel hoge sensitiviteit als met hoge selectiviteit. Hiervoor moeten MOFs geïntegreerd worden in het productieproces van micro-elektronica. Dit is niet mogelijk met conventionele depositie methodes voor MOF films doordat deze leiden tot contaminatie en corrosie van het micro-elektronisch circuit. Recent heeft de onderzoeksgroep aangetoond dat met dampfasedepositie deze problemen vermeden kunnen worden en deze alternatieve methode compatibel is met bestaande infrastructuur en standaarden van micro-elektronica. Dit project zal het potentieel van MOFs in gassensoren aantonen door gebruik te maken van de dampfasedepositie methode in het productieproces van micro-elektronica. Namelijk, MOF-gebaseerde chemisch sensitieve thin film transistoren (TFTs) zullen voor de eerste maal gerealiseerd worden. Bovendien zal fundamenteel inzicht in het detectie mechanisme opgebouwd worden door systematisch de adsorptie eigenschappen te bestuderen tussen verschillende MOFs en analieten. De belangrijkste kerngedachtes zullen samengevat worden in een technologisch stappenplan voor toekomstige projecten vooral met de focus op toekomstige valorisatiemogelijkheden.