piëzo-elektrische microbewerkte ultrasone transducer

Piëzo-elektrische microbewerkte ultrasone transducers (pMUT's) vervangen tegenwoordig bulk-op PZT gebaseerde transducers in verschillende toepassingen zoals medische beeldvorming, vingerafdruksensoren en afstandsmeting. pMUT's hebben een voorsprong op de conventionele technologie vanwege hun kleine afmeting, laag stroomverbruik, hoge elementdichtheid en eenvoudig en goedkoop fabricageproces. In toepassingen zoals hersenstimulatie, intravasculaire beeldvorming, draagbare ultrasone apparaten, kunnen de array-mogelijkheden worden verbeterd als ze voldoen aan complexe geometrieën. Het blijft echter een uitdaging om pMUT-arrays flexibel (en conform) te maken. Dit doctoraat beoogt de studie en ontwikkeling van benaderingen om pMUT's flexibel te maken. Men kan bijvoorbeeld beginnen met een star substraat of flexibel substraat of zelfs een hybride benadering ontwikkelen om een flexibele pMUT-array te realiseren. Hier moet het ontwerp zorgen voor elektrische toegankelijkheid en integratie van individuele array-elementen, wat een van de belangrijkste problemen is waarmee 2D pMUT-arrays worden geconfronteerd.