< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Manufacturability of dense hole arrays with directed self-assembly using the CHIPS flow
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel Conferentiebijdrage
Tijdschrift: Proceedings of the SPIE
ISSN: 0277-786X
Volume: 9777
Pagina's: 97770
Jaar van publicatie:2016
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
Authors from:Government, Higher Education