< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Readying directed self-assembly for patterning in semi-conductor manufacturing
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: Journal of Photopolymer Science and Technology
ISSN: 0914-9244
Issue: 6
Volume: 26
Pagina's: 779 - 791
Jaar van publicatie:2013
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:0.1
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Government, Higher Education