< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Novel micromirror design with variable pull-in voltage
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel Conferentiebijdrage
Tijdschrift: MICROELECTRONIC ENGINEERING
ISSN: 0167-9317
Issue: 5-8
Volume: 87
Pagina's: 1248 - 1252
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:0.1
CSS-citation score:1
Auteurs:National
Authors from:Higher Education
Toegankelijkheid:Open