Oppervlakteafhankelijke adsorptie- en diffusieprocessen tijdens de selectieve depositie van ruthenium KU Leuven
Gasfasedepositieprocessen zijn het resultaat van een serie adsorptie-, diffusie-, en desorptieprocessen en oppervlaktereacties, en deze processen zijn in potentie oppervlakteafhankelijk. Selectieve depositie gebruikt deze oppervlakteafhankelijkheid om een materiaal enkel te deponeren op de plaats waar het nodig is. Ruthenium krijgt in toenemende mate belangstelling voor verscheidene toepassingen, gaande van geleiders in nanoelektronische ...