Implementatie van gestuurde zelf-assemblage gebaseerd op blokcopolymeren voor geavanceerde lithografie. KU Leuven
Optische lithografie is al meer dan vier decennia een belangrijke drijvende kracht achter de Wet van Moore, waardoor het aantal transistors in een geïntegreerde schakeling elke twee jaar kon verdubbelen. Dit bracht enorme voordelen voor de industrie met zich mee aangezien transistoren op deze manier goedkoper, sneller en krachtiger werden. Echter, de huidige technologie, gebaseerd op ultraviolet licht met een golflengte van 193 nm, heeft zijn ...