SPINAL (Scanning Probe in een netwerk voor geavanceerde Layers) - een ultrahoog vacuüm cluster tool met scanning probe microscope Universiteit Gent
Het SPINAL project betreft de installatie van een ultra-hoog vacuüm opstelling voor de studie van oppervlakken, dunne lagen en nanostructuren. Het systeem bestaat uit een scanning probe microscoop, om oppervlakken en nanostructuren met atomaire resolutie te bestuderen, en een vacuüm transferlijn (de ruggegraat van het systeem), die toelaat om specimens tussen depositie- en karakteriseringskamers te transfereren onder ultra-hoog vacuüm ...