Spray coating als een enabler van heterogene halfgeleidergebaseerde systemen-op-chip & bio-elektronica Universiteit Gent
Het doel van dit project is het ontwikkelen van het spray coaten van fotoresist, ultra-dunne DVS-BCB bondinglagen en andere geavanceerde polymeren op 200mm Si wafers of kleine samples die fotonische, elektronische geïntegreerde schakelingen (ICs) of MEMS bevatten. Dit laat toe om heterogene halfgeleidergebaseerde systemen-op-chip te realizeren voor toepassingen zoals optische zendontvangers, slimme sensoren en geavanceerde elektronische ICs ...