Samengefocuste ionenbundel (FIB) faciliteit voor nanofabricage en nanocharacterisatie. KU Leuven
Maakprocessen en -Systemen (MaPS), Kwantum-vastestoffysica, Universiteit Hasselt
Het dual beam FIB (focused ion beam) systeem laat toe preparaten op een gecontroleerde manier te modificeren, er materiaal van te verwijderen of er op te deponeren - met een precisie van enkele nanometer! Door het preparaat te bombarderen met een lage-energie gefocuste ionenbundel kan men namelijk nanostructuren met een specifieke vorm en afmeting creëren, de structuur ervan wijzigen of ze elektrisch isoleren van de omgeving. Bovendien kan ...