< Terug naar vorige pagina

Publicatie

A leakage compensated charge control driving circuit with sensor feedback for a comb drive actuator

Tijdschriftbijdrage - Review Artikel

Tijdschrift: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL

ISSN: 1873-3069

Volume: 329

Jaar van publicatie:2021

WoS Id: 000663554400003
Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-8712044
DOI: https://doi.org/10.1016/j.sna.2021.112799

Toegankelijkheid:Closed