< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Fabrication and replication of high efficiency blazed gratings with grayscale electron beam lithography and UV nanoimprint lithography
Boekbijdrage - Boekhoofdstuk Conferentiebijdrage
Boek: Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XIII
Volume: 11292
Aantal pagina's: 1
ISBN:9781510633483
Jaar van publicatie:2020
Toegankelijkheid:Open