< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Defect Mitigation in Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ruthenium on Titanium Nitride/Dielectric Nanopatterns
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: Advanced Materials interfaces
ISSN: 2196-7350
Issue: 20
Volume: 6
Jaar van publicatie:2019
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:2
CSS-citation score:1
Authors from:Government, Higher Education
Toegankelijkheid:Open