< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Defect Mitigation in Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ruthenium on Titanium Nitride/Dielectric Nanopatterns

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: Advanced Materials interfaces
ISSN: 2196-7350
Issue: 20
Volume: 6
Aantal pagina's: 11
Jaar van publicatie:2019