< Terug naar vorige pagina

Project

Tijdopgeloste IR- en foto-emissiestudies van EUV-Matter-interacties

Oppervlakte- en interface-analyse binnen de halfgeleiderindustrie hebben een niveau van verfijning bereikt dat verder gaat dan 25 jaar geleden kon worden gedacht. Evenzo bevinden de architecturen en afmetingen van apparaten zich nu op een niveau dat zelfs 10 jaar geleden niet voor mogelijk werd gehouden. Hierbij is de vaak gestelde vraag: tot hoever kan dit gaan. In een poging om een beter begrip te krijgen van het pad voorwaarts, zullen PhD-student-onderzoekers verantwoordelijk zijn voor de ontwikkeling van de wetenschappelijke toepassing van het foto-emissie-eindstation van het platform, dat is gebaseerd op een SPECSTM KREIOS-analysator, waardoor Photo Electron Emission Microscopie (PEEM) en micro Angular Resolved Photo Emission Spectroscopy (µ-ARPES) uitgevoerd in continue of tr pump-probe-modi. Standaard UPS en XPS zullen ook aanwezig zijn. Een voorbereidingskamer die zowel Auger Electron Spectroscopie als Low Energy Electron Diffractie bevat, is aangesloten op het systeem. Door middel van dit doctoraat zal de succesvolle aanvrager actief werken aan deze faciliteit, evenals aan de XPS binnen de MCA-labs indien nodig. Het primaire doel is om de IR- en foto-emissie-spectroscopieën te gebruiken om een beter inzicht te krijgen in de chemie en kinetiek die plaatsvinden in fotoweerstandsmaterialen onder EUV-blootstelling. Andere exotische materialen zoals Transition Metal Dichalcogenides, Topological Insulators, etc. zullen ook met deze faciliteit worden onderzocht. Om te helpen bij spectrale identificatie van Photo-resist en om de tijdsafhankelijke mechanismen die plaatsvinden te begrijpen, zal een parallelle doctoraatsactiviteit die atomistische simulaties gebruikt, actief zijn om een vergelijking van de gemeten spectra met kwantumchemische berekeningen mogelijk te maken.

Datum:17 feb 2021 →  Heden
Trefwoorden:Time Resolved IR, Photoemission, Photoresist
Disciplines:Spectroscopische methoden
Project type:PhD project