Studie van ALD barrièrelagen voor het inbedden van elketronische en opto-elektronische componenten in een slim microsysteem dat in direct contact staat met het menselijk lichaam.

Ontwikkeling van microsystemen in rechtstreeks contact met het menselijk lichaam verloopt traag door hoge eisen omtrent veiligheid. In dit project willen we aantonen dat een samenstelling van verschillende oxide en/of nitride lagen, geproduceerd via ‘atomic layer deposition’, een betrouwbare biocompatibele en biostabiele barrière kan vormen, die de introductie van slimme medische microsystemen toelaat.