In-situ onderzoek van vernieuwende benaderingen voor conformele depositie van complexe oxiden door combinatie van ALD met vastestof- en elektrochemische reacties

Wij onderzoeken de synthese van conformele dunne

lagen van complexe oxides door atoomlaagdepositie te combineren met

vastestof- en elektrochemische reacties. Bijkomend bestuderen we de

structurele of faseveranderingen tijdens deze reacties met in-situmethoden

zoals X-stralendiffractie en ellipsometrie.