< Terug naar vorige pagina

Project

Nano-focused Raman spectroscopie voor stess en compositie metingen

Om de globale prestaties van halfgeleider componenten te verbeteren, kan mechanische stress toegepast worden waardoor de mobiliteit van elektronen (of gaten) verbeterd wordt en dus de geleidbaarheid van het transistorkanaal stijgt. Daarnaast worden voortdurend nieuwe materialen, zoals III-V halfgeleiders, geïntroduceerd als bouwstenen voor 3D halfgeleider integratie schema’s. Om die stress en compositie binnen dergelijke structuren te karakteriseren zijn typisch TEM-gebaseerde technieken zoals nano-beam diffraction (NBD) en convergent beam electron diffraction (CBED), of X-stralen technieken zoals high-resolution X-ray diffraction (HRXRD) benodigd. Het nadeel van deze methodes is dat ze een destructief karakter hebben en/of langdurige integratietijden en grote meetoppervlaktes vereisen. Binnen dit onderzoekstopic zal het gebruik en optimalisatie van geavanceerde micro-Raman spectroscopie voor het opmeten van lokale stress en compositie in nieuwe halfgeleider architecturen onderzocht worden. Meer specifiek zal nano-focused Raman spectroscopie, waar een substantiële verhoging van het Raman signaal wordt bekomen onder bepaalde experimentele condities, gebruikt worden voor stress en compositiemetingen in groep IV en III-V finFETs, nanowires en multilagen. De nadruk zal liggen op een gedetailleerd inzicht in de Raman verstrooiing in deze materialen en de invloed van stress en compositie in nanoschaal halfgeleiders gebaseerd op deze materialen. In wisselwerking met andere karakterisatie-technieken gebruikt op imec zoals NBD en HRXRD zal een concept van niet-destructieve en kwantitatieve metrologie ontwikkeld worden dat van uitzonderlijk belang is voor ontwikkeling van toekomstige CMOS technologie. Gestoeld op uitgebreide imec expertise, zal de PhD kandidaat Raman meetconcepten ontwikkelen en verbeteren, en hun toepasbaarheid op nanoschaal halfgeleiderstructuren onderzoeken, wat uiteindelijk de Raman karakterisatie van stress en compositie op de nanoschaal mogelijk maakt.

Datum:31 jul 2018  →  Heden
Trefwoorden:stress, composition, finFET, Raman spectroscopy
Disciplines:Onderwijskunde, Fysica van gecondenseerde materie en nanofysica, Nucleaire fysica, Toegepaste wiskunde, Elementaire deeltjesfysica en hoge-energie fysica, Kwantumfysica, Klassieke fysica, Andere fysica
Project type:PhD project