< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Atomic layer deposition of metal phosphates

Tijdschriftbijdrage - Review Artikel

Tijdschrift: APPLIED PHYSICS REVIEWS

ISSN: 1931-9401

Issue: 1

Volume: 9

Jaar van publicatie:2022

Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-8748830
WoS Id: 000760741900001
DOI: https://doi.org/10.1063/5.0069647

Toegankelijkheid:Open