Nanogestructureerde functionele materialen voor geavanceerde toepassingen – de metrologie uitdagingen

Door ontwikkeling van geavanceerde optische detectietechnieken, waaronder ATR-FTIR-analyse, wordt dynamische, in-situ geometrie karakterisatie op nanoschaal mogelijk. Dit is cruciaal voor de nog verdere onthulling van het bevochtigingsmechanisme van structuren met een hoge aspectverhouding.