Ontwerp en toepassing van piëzo-elektrische MEMS luidsprekers

Luidsprekers hebben een brede toepassing in ons dagelijks leven. Volgens de kenmerken van microbewerkingstechnologie kunnen MEMS-microspeakers niet alleen een verdere verlaging van de afmetingen en kosten bereiken, maar hebben ze ook de mogelijkheid tot batchproductie. Onlangs trekken piëzo-elektrische microspeakers met de voordelen van een grote drijvende kracht, een laag stroomverbruik en een enkele diafragmastructuur geleidelijk de aandacht, die kan worden vervaardigd met behulp van de MEMS-processen. Piëzo-elektrische materialen bieden een veelbelovende oplossing voor MEMS-microspeakers. structuurontwerp en fabricage om de piëzo-elektrische MEMS-microspeaker met hoog uitgangsvermogen en hoge SPL te realiseren.