Hybride elektronisch-mechanische gekoppelde resonatoren voor sensortoepassingen (HEMCORES)

Resonatoren worden in toenemende mate gebruikt in vele toepassingen van sensing (bv. luchtkwaliteitsmonitoring) tot tijdsreferenties en filtering, en men verwacht dat dit nog sterk zal stijgen in de nabije toekomst (bv. augmented/virtuele realiteit). Alhoewel kristaloscillatoren nog het grootste marktaandeel hebben in bv. smartphones, zijn ze groot en duur. Dit verklaart waarom MEMSresonatoren momenteel aan populariteit winnen; ze kunnen hogere frequenties realiseren en openen de mogelijkheid van integratie met micro-elektronische schakelingen, resulterend in lagere kost en volume, verhoogde performantie en nieuwe functionaliteit (e.g. slimme sensing). Van de verschillende types van MEMSimplementaties zijn de zacht-gekoppelde resonatoren (ZGR) recent doorgebroken als zeer beloftevol, vooral omwille van hun extreem hoge sensitiviteit. Om echter de nadelen van puur mechanische ZGR’s op te lossen, beoogt dit project om fundamenteel de haalbaarheid van het nieuwe concept van hybride ZGR’s te exploreren en demonstreren, waarbij een elektronische resonator gekoppeld wordt aan een of meerdere mechanische resonatoren. Dit laat gemakkelijk tuning naar productievariaties toe, en opent het pad naar de volledige integratie van sensing en uitlezen, en dus klein volume en kost. Naast de hoge sensitiviteit, zal het project ook de hybride ZGR-structuren optimaliseren naar hoge resolutie/SNR en hoge sommode-onderdrukking van omgevingsveranderingen, ver voorbij de huidige stand der techniek.