< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Low-voltage silicon photonic MEMS switch with vertical actuation
Boekbijdrage - Boekhoofdstuk Conferentiebijdrage
Boek: 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Pagina's: 298 - 301
ISBN:9781665419123
Jaar van publicatie:2021
Toegankelijkheid:Open