< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Wafer-level vacuum sealing for packaging of silicon photonic MEMS
Boekbijdrage - Boekhoofdstuk Conferentiebijdrage
Boek: Silicon photonics XVI
Volume: 11691
Aantal pagina's: 1
ISBN:9781510642188
Jaar van publicatie:2021
Toegankelijkheid:Open