< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Stacked boron doped poly-crystalline silicon-germanium

Boekbijdrage - Boekabstract Conferentiebijdrage

Ondertitel:an excellent MEMS structural layer
Boek: Passive and electromechanical materials and integration : proceedings of a meeting held 24-28 March 2008, San Francisco, California
Aantal pagina's: 1
ISBN:978-1-60560-857-0
Jaar van publicatie:2008