< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Critical dimension metrology using Raman spectroscopy
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Issue: 4
Volume: 117
Jaar van publicatie:2020
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:1
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Government, Higher Education
Toegankelijkheid:Closed