Karakterisering van mechanische sterkte van materiaal op nanoschaal

Met de continue schaalvergroting van afmetingen in de micro-elektronica-industrie, zijn mechanische integratie- en betrouwbaarheidsproblemen een uitdaging geworden tijdens de fabricage. Daarom is de evaluatie van de mechanische eigenschappen van geïntegreerde lagen van groot belang. Dit onderwerp richt zich voornamelijk op de invloed van procesparameters op de mechanische eigenschappen van meerlagige dunne films. Het elastische, plastische gedrag en faalmechanica zullen worden gekenmerkt door verschillende methoden, waaronder SEM, Nanoindentation, enz. De combinatie van experimentele en numerieke analyse wordt gebruikt voor een beter begrip van het mechanische gedrag van materialen.