< Terug naar vorige pagina

Project

TIMERS : een gerichte studie op kortstondige effecten tijdens reactief sputteren. (TIMERS)

Reactief magnetron sputteren is een veel gebruikte depositietechniek met een interessante, maar onbegrepen dynamica. De belangrijkste doelstelling van het project is om deze dynamica te modelleren om zo een meer uitgebreide versie van het Reactief Sputter Deposition (RSD) model te bekomen waarmee de meest gecompliceerde processen van dit proces beschreven kunnen worden.

Datum:1 dec 2019 →  Heden
Trefwoorden:dunne lagen, modelleren, magnetron, Sputteren
Disciplines:Toegepaste wiskunde die niet elders zijn geclassificeerd