< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Oxygen Gettering Cap to Scavenge Parasitic Oxide Interlayer in TiSi Contacts

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: IEEE Electron Device Letters
ISSN: 0741-3106
Issue: 11
Volume: 40
Pagina's: 1712 - 1715
Jaar van publicatie:2019
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:1
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Government, Higher Education