< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Inhibition of Oxygen Scavenging by TiN at the TiN/SiO2 Interface by Atomic-Layer-Deposited Al2O3 Protective Interlayer
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: Journal of Physical Chemistry C
ISSN: 1932-7447
Issue: 36
Volume: 123
Pagina's: 22335 - 22344
Jaar van publicatie:2019
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:2
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Higher Education
Toegankelijkheid:Open