< Terug naar vorige paginaPublicatie Atomic layer deposition of ruthenium and silver Boek - DissertatieJaar van publicatie:2019Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-8614878 Toegankelijkheid:OpenAuteurs/uitgeverMatthias Minjauw (Auteur)Ghent University. Faculty of Sciences (Uitgever)OnderzoekseenhedenVakgroep Vastestofwetenschappen(Departement)Ghent University