< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Integrated silicon nitride electro-optic modulators with atomic layer deposited overlays

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: OPTICS LETTERS

ISSN: 1539-4794

Issue: 5

Volume: 44

Pagina's: 1112 - 1115

Jaar van publicatie:2019

DOI: https://doi.org/10.1364/ol.44.001112
WoS Id: 000460109200012
Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-8614055