< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Using chemo-epitaxial directed self-assembly for repair and frequency multiplication of EUVL contact-hole patterns
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel Conferentiebijdrage
Tijdschrift: Alternative Lithographic Technologies VI
ISSN: 0277-786X
Volume: 9049
Jaar van publicatie:2014