Optische interferometer voor 3D oppervlaktekarakterisatie met sub-nanometer diepteresolutie

De aanvragende groepen hebben een zeer grote expertise opgebouwd op gebied van fabricatie van structuren met micrometer of zelfs nanometer precisie. We gebruiken hiervoor zowel technieken uit de precisiemechanica als lithografische technieken uit de elektronica. Onze cleanroom en andere laboratoria huizen sinds kort samen in de nieuwe Corelab gebouwen van de KULeuven. Naast de toepassingen uit de ingenieurswereld (elektronische componenten, chirurgie-apparatuur, lagers en microturbines met zeer hoge snelheid, zeer kleine mechanische sensoren, medische implantaten) staan onze labo's open voor collega's uit de afdelingen fysica, chemie, biologie en bio-ingenieurswetenschappen waardoor we ondertussen ook zeer multidisciplinair werken aan onderwerpen zoals labos-op-chip, microfluidica, experimentele fysica, micro-optica en waterstof producerende zonnecellen.Wat nog ontbreekt in ons arsenaal is apparatuur om in 3D met grote precisie en aan een redelijke snelheid de dimensies van de gefabriceerde structuren te kunnen bepalen. Met de voorgestelde aankoop van een wit licht interferometrie toestel wordt deze leemte opgevuld.

Trefwoorden:interferometer

Disciplines:Modellering, Multimediaverwerking