< Terug naar vorige pagina
Onderzoeker
Lianggong Wen
- Disciplines:Sensoren, biosensoren en slimme sensoren, Andere elektrotechniek en elektronica, Nanotechnologie, Ontwerptheorieën en -methoden
Affiliaties
- Elektronische Circuits en Systemen (ECS) (Afdeling)
Lid
Vanaf1 aug 2020 → 15 apr 2012 - Afdeling ESAT - MICAS, Micro-elektronica en Sensoren (Afdeling)
Lid
Vanaf15 mrt 2011 → 15 apr 2012 - Departement Elektrotechniek (ESAT) (Departement)
Lid
Vanaf1 okt 2007 → 14 mrt 2011
Publicaties
1 - 10 van 10
- Poly-SiGe-based MEMS thin film encapsulation(2012)
Auteurs: Bo Wang, Lianggong Wen, Gert Claes, Bob Puers, Ingrid De Wolf, Ann Witvrouw
Pagina's: 110 - 120 - A Parylene Temporary Packaging Technique for MEMS Wafer Handling(2011)
Auteurs: Lianggong Wen, Kristof Wouters, Frederik Ceyssens, Ann Witvrouw, Bob Puers
Pagina's: 1501 - 1504 - An in-plane SiGe differential capacitive accelerometer for above-IC integration(2011)
Auteurs: Lianggong Wen, Kristof Wouters, Ann Witvrouw, Bob Puers
- Thin film encapsulated SiGe accelerometer for MEMS above IC integration(2011)
Auteurs: Lianggong Wen, Ann Witvrouw, Bob Puers
Pagina's: 2046 - 2049 - Above-IC generic poly-SiGe thin film wafer level packaging and MEM device technology: application to accelerometers(2011)
Auteurs: Lianggong Wen, Ingrid De Wolf, Bob Puers, Ann Witvrouw
Pagina's: 352 - 355 - SiGe MEMS technology: a platform technology enabling different demonstrators(2010)
Auteurs: Ann Witvrouw, Lianggong Wen, Bob Puers
Pagina's: 799 - 812 - Design and Characterization of a CMOS Compatible Poly-SiGe Low-g Capacitive Acceleromter(2010)
Auteurs: Lianggong Wen, Ann Witvrouw, Bob Puers
Pagina's: 742 - 745 - A Comb Based In-plane SiGe Capacitive Accelerometer for Above-IC Integration(2010)
Auteurs: Lianggong Wen, Kristof Wouters, Ann Witvrouw, Bob Puers
- A CMOS-compatible self-aligning capacitive accelerometer with Epoclad polymer on silicon (POS) technology(2009)
Auteurs: Lianggong Wen, Kristof Wouters, Frederik Ceyssens, Bob Puers
- SU-8 Thermo-Compressive Packaging for Post-CMOS Poly-SiGe MEMS(2009)
Auteurs: Lianggong Wen, Kristof Wouters, Bob Puers
Pagina's: 1539 - 1542