< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Ontwerp en karakterisatie van CMOS-compatibele microspiegelmatrices in SiGe-MEMS-technologie

Boek - Dissertatie

Ondertitel:Design and characterization of CMOS compatible micromirror arrays in SiGe MEMS technology

ISBN:9789085784647

Jaar van publicatie:2011

Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-3232077

Toegankelijkheid:Open